极测(南京)技术有限公司研发的微环境控制系统正掀起一场精度革命,为立式干涉仪等精密设备提供精密稳定环境,最高可实现±0.002℃高精密温度控制,及洁净度十级的卓越能力。目前已拥有结合全场景非标定制能力,可满足用户不同环境参数及使用需求,比如温湿度稳定性、洁净度,抗微振、防磁、隔音等不同个性化需求。现已服务多家全球半导体、通信设备、显示面板领军企业与国家重点实验室,应用于众多科研与生产场景。

立式干涉仪对环境的严苛需求

立式干涉仪作为精密测量的关键设备,基于光的干涉原理工作,通过测量干涉条纹变化精确测定物体长度、角度、表面平整度等参数,精度可达纳米级别。但也正因如此,其对工作环境的微小变化极为敏感。温度波动会致使干涉仪的光学元件、机械结构以及被测物体热胀冷缩,如光学镜片的热变形会改变光线传播路径,进而使干涉条纹位移,在高精度测量中引入不可忽视的误差,严重影响测量准确性与可靠性。

温度控制精度领先

极测微环境控制系统运用自主研发的高精密控温技术,控制输出精度达0.1%,设备内部温度稳定性关键区域可达+/-2mK(静态),温度水平均匀性小于16mK/m。这一精度确保了在立式干涉仪运行时,光学元件与机械结构不受温度波动干扰,始终维持在最佳工作状态,微环境控制系统为精准测量提供稳定基础。

湿度与洁净度协同保障

微环境控制系统设备内部湿度稳定性可达±0.5%@8h,有效防止因湿度变化引发的光学元件发霉、机械部件生锈等问题,延长立式干涉仪使用寿命。同时,系统可实现百级以上洁净度控制,最高优于ISO class3(设备工作区),避免灰尘等污染物影响光线传播与干涉条纹,为干涉仪营造超净工作空间。

智能功能助力运维

极测微环境控制系统具备强大的数据实时记录查询功能。运行中的温度、湿度等关键数据自动生成曲线,便于操作人员直观掌握环境变化。微环境控制系统数据自动保存且可随时导出,运行状态与故障状态同步记录,方便进行数据分析、质量追溯与故障排查。此外,自动安全保护系统可实现故障自动保护,确保设备全天候稳定运行,减少因故障导致的测量中断。